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激光平面干涉仪

激光平面干涉仪        型号:XQ15-G3

用途和特点:
       XQ15-G3实用型激光平面干涉仪在保留XQ15-G1激光平面干涉仪的用途及特点的状况下,更具实用性,可更广泛适用于大批量生产单位的生产车间。检验车间的平面度、微小楔角测量,更适合于大平板生产流水线快速筛选的应用。
技术参数:
第一标准平面(A面),工作直径D1=Φ146mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二标准平面(B面),工作直径D2=Φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
准直系统-----------------工作直径Φ146mm,焦距 f = 400mm
光源规格-----------------激光ZN18(He-Ne)
干涉室尺寸----------------530×270×150mm
 

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