大平台硅片检测显微镜
用途:
GPJ-800 高倍大平台硅片检测显微镜适用于对不透明物体的进行显微观察。本仪器配置大移动范围的机械式载物台、落射照明器,同时还配有内置偏光观察装置,具有图像清晰、衬度好,造型美观,操作方便等特点,是单/多晶硅片、太阳能板、半导体封装测试、集成电路、电子芯片、电路板、液晶板、镀涂层,及其它非金属材料等。也是金属学、矿物学、精密工程学、电子学等研究的理想仪器。适用于学校、科研、工厂等部门使用。
成像系统组成简介:
GPJ-800P电脑高倍大平台硅片检测显微镜 GPJ-800S数码高倍大平台硅片检测显微镜成像系统是通过光电转换与计算机,数码相机以及电视机等设备结合在一起,不仅可以在目镜上观察,还能在显示屏幕上观察实时动态图像,还可在计算机,数码相机上将所需要的图片进行编辑、保存和打印。
性能特点:
l 配置大视野目镜和长距平场消色差物镜,视场大而清晰。
l 配置大移动范围的载物台,能快速和慢速移动。
l 粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带限位锁紧装置。
l 6V 20W卤素灯,亮度可调。
l 三目镜筒,可自由切换正常观察,可进行100%透光摄影
技术参数:
平场目镜 | 放大倍数(X) | 视场(mm) | ||
10X | Φ18 | |||
平场消色差物镜 | 放大倍数(X) | 数值孔径(NA) | 工作距离(mm) | |
5X | 0.12 | 18.3 | ||
10X | 0.25 | 8.9 | ||
20X | 0.40 | 8.7 | ||
40X | 0.60 | 3.7 | ||
80X | 0.80 | 0.96 | ||
光学放大倍数 | 50X 100X 200X 400X 800X | |||
系统参考放大倍数 | 50X-3000X | |||
目镜筒 | 三目镜, 瞳距调节范围:53-75mm | |||
照明系统 | 落射照明器,6V/20W卤素灯,220V(50Hz)亮度可调具 | |||
偏光装置 | 三目头内置检偏振, 可插入式起偏振片,垂直照明装置, | |||
调焦机构 | 粗微动同轴调焦,粗动松紧可调,带锁紧和限位装置 微动格值:0.002mm。 | |||
转换器 | 五孔 外向式滚珠内定位 | |||
滤色片组 | 黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃 | |||
载物台移动范围 | X方向:154mm ; Y方向154mm |
l 目镜:16X 20X 10X分划
l 物镜:50X 60X 80X 100X(油)
l 大载物台(配快速移动):尺寸:274*274mm 移动范围:203*203mm
l 动态检测软件GM-2000V
l 二维图像测量软件GM—2000M
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